အစိုဓာတ်နှင့် အမှုန်အမွှားများ ဓာတ်ငွေ့ထွက်ခြင်း- မျက်နှာပြင်အပြီးသတ်ခြင်းသည် ဓာတ်ငွေ့သန့်စင်မှုကို မည်သို့အကျိုးသက်ရောက်သည်

ယနေ့ခေတ်၏ မြင့်မားသောသန့်စင်မှုရှိသော ဓာတ်ငွေ့စနစ်များတွင်၊ အကျိုးအမြတ်ရှိသော လုပ်ငန်းစဉ်နှင့် ကုန်ကျစရိတ်များသော ကျရှုံးမှုကြား ကွာခြားချက်သည် မကြာခဏ မမြင်နိုင်သောအရာပေါ်တွင် မူတည်လေ့ရှိသည်။ အစိုဓာတ်နှင့် အမှုန်အမွှားများ — ဘီလီယံပုံတစ်ပုံ သို့မဟုတ် ထရီလီယံပုံတစ်ပုံပင် အစိတ်အပိုင်းများဖြင့် တိုင်းတာသည် — သည် ဓာတ်ငွေ့စီးကြောင်းကို တိတ်တဆိတ်ညစ်ညမ်းစေပြီး ထုတ်ကုန်အရည်အသွေးကို ယိုယွင်းစေပြီး တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်မှုလိုင်းများကို ပိတ်ပစ်နိုင်သည်။ စစ်ထုတ်ခြင်း၊ သန့်စင်ခြင်းနှင့် စီးဆင်းမှုထိန်းချုပ်သည့် စက်ပစ္စည်းများသည် အာရုံစိုက်မှုအများစုကို ရရှိသော်လည်း ဓာတ်ငွေ့သန့်စင်မှုအပေါ် အခြေခံအကျဆုံးလွှမ်းမိုးမှုများထဲမှ တစ်ခုမှာ ဓာတ်ငွေ့သယ်ဆောင်သည့် ပြွန်၏မျက်နှာပြင်ဖြစ်သည်။ ထိုမျက်နှာပြင်ကို မည်သို့ပြီးစီးအောင်လုပ်ဆောင်သည်ဆိုသည်မှာ စနစ်၏သက်တမ်းတစ်လျှောက် အစိုဓာတ်မည်မျှစုပ်ယူနိုင်သည်၊ အမှုန်အမွှားမည်မျှဖမ်းယူနိုင်သည်နှင့် ဓာတ်ငွေ့မည်မျှထွက်သွားမည်ကို ဆုံးဖြတ်ပေးသည်။ ဤလမ်းညွှန်ချက်သည် အစိုဓာတ်နှင့် အမှုန်အမွှားများ ဓာတ်ငွေ့ထုတ်လွှတ်မှုယန္တရားများကို ရှင်းပြထားပြီး မျက်နှာပြင်အပြီးသတ်ခြင်းသည် ဓာတ်ငွေ့သန့်စင်မှုအပေါ် သက်ရောက်မှုကို တွက်ချက်ပြီး အလွန်မြင့်မားသောသန့်စင်မှု (UHP) စွမ်းဆောင်ရည်ကို ပေးဆောင်ရန်အသုံးပြုသော အပြီးသတ်ခြင်းနှင့် လည်ပတ်မှုဗျူဟာများကို ဖော်ပြထားသည်။

Outgassing ဆိုတာဘာလဲ၊ ဘာကြောင့်အရေးကြီးတာလဲ။

ဓာတ်ငွေ့ထွက်ခြင်းဆိုသည်မှာ ပစ္စည်းတစ်ခု၏ မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် စုပ်ယူခံရသော သို့မဟုတ် ၎င်း၏ မျက်နှာပြင်အနီးရှိ အလွှာများအတွင်း ပျော်ဝင်နေသော ဓာတ်ငွေ့များနှင့် အစိုဓာတ်ကို တဖြည်းဖြည်း ထုတ်လွှတ်ခြင်းဖြစ်သည်။ ပတ်ဝန်းကျင်ဖိအားကျဆင်းခြင်း၊ အပူချိန်မြင့်တက်လာခြင်း သို့မဟုတ် သန့်စင်ဓာတ်ငွေ့သည် မျက်နှာပြင်တစ်လျှောက် ပျံ့နှံ့သွားသောအခါ ထုတ်လွှတ်မှုဖြစ်ပေါ်လာသည် - ဓာတ်ငွေ့ပေးပို့စနစ်များ၊ ဖုန်စုပ်ခန်းများနှင့် ခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာကိရိယာများတွင် တွေ့ရှိရသော အခြေအနေများနှင့် တစ်ထပ်တည်းဖြစ်သည်။ သံမဏိစနစ်များတွင် ရေငွေ့သည် အဖြစ်အများဆုံး ဓာတ်ငွေ့ထွက်စေသော ညစ်ညမ်းပစ္စည်းဖြစ်ပြီး ဒုတိယမှာ ဟိုက်ဒရိုကာဗွန်များနှင့် ကျန်ရှိနေသော လုပ်ငန်းစဉ်အကြွင်းအကျန်များဖြစ်သည်။

လျစ်လျူရှုထားနိုင်လောက်အောင် နည်းပါးတဲ့ ပြင်းအားတွေမှာတောင် အစိုဓာတ်ဟာ အထူးဓာတ်ငွေ့တွေနဲ့ ဓာတ်ပြုနိုင်ပြီး၊ နျူကလိယအမှုန်အမွှားတွေ ဖြစ်ပေါ်စေနိုင်သလို၊ ခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာမှုဖတ်ခြင်းတွေကိုလည်း မှားယွင်းစွာပြုလုပ်နိုင်ပြီး၊ mass flow controllers၊ valves နဲ့ deposition chambers တွေလိုမျိုး အဆိပ်သင့်လွယ်တဲ့ အစိတ်အပိုင်းတွေနဲ့ ဓာတ်ပြုနိုင်ပါတယ်။ စက်ပစ္စည်း ဂျီသြမေတြီတွေ ကျုံ့သွားပြီး လုပ်ငန်းစဉ် ပြတင်းပေါက်တွေ တင်းကျပ်လာတာနဲ့အမျှ၊ semiconductor လုပ်ငန်းဟာ ဓာတ်ငွေ့သန့်စင်မှု လိုအပ်ချက်တွေကို parts per million (ppm) ကနေ parts per billion (ppb) နဲ့ parts per trillion (ppt) အထိ တွန်းအားပေးခဲ့ပါတယ်။ ဒီအဆင့်တွေမှာ၊ ပြွန်ရဲ့ မျက်နှာပြင် အပြီးသတ်ဟာ အသေးအဖွဲလေး မဟုတ်တော့ပါဘူး — စက်ရုံကနေ ကိရိယာအထိ အင်ဂျင်နီယာ၊ အတည်ပြုပြီး ထိန်းသိမ်းရမယ့် အဓိက သတ်မှတ်ချက်တစ်ခု ဖြစ်ပါတယ်။

အဓိကယန္တရားများ

မျက်နှာပြင်ဧရိယာ တိုးလာခြင်း

ကြမ်းတမ်းသော မျက်နှာပြင်တစ်ခုသည် ချောမွေ့သော မျက်နှာပြင်ထက် အဏုကြည့်မှန်ပြောင်းဖြင့်သာ မြင်နိုင်သော ဧရိယာ ပိုမိုကြီးမားပြီး ဧရိယာပိုများလေ အစိုဓာတ်ကပ်ငြိနိုင်သော နေရာများ ပိုများလေဖြစ်သည်။ ဆက်နွယ်မှုသည် မျဉ်းဖြောင့်မဟုတ်ပါ။ အထွတ်အထိပ်များ၊ ချိုင့်ဝှမ်းများနှင့် အမှုန်အမွှားနယ်နိမိတ်အဆင့်များပုံစံဖြင့် ကြမ်းတမ်းမှုသည် စုပ်ယူနိုင်သော ထိရောက်သော မျက်နှာပြင်ဧရိယာကို မြှောက်သည်။ မျက်နှာပြင်ကြမ်းတမ်းမှု (Ra အဖြစ် တိုင်းတာသော မျက်နှာပြင်ပရိုဖိုင်၏ ဂဏန်းသင်္ချာပျမ်းမျှသွေဖည်မှု) ကို 0.8 µm မှ 0.25 µm အထိ လျှော့ချခြင်းဖြင့် စုပ်ယူနိုင်သော နေရာအများစုကို ဖယ်ရှားနိုင်သည်၊ အဘယ်ကြောင့်ဆိုသော် ရေကို အခိုင်မာဆုံးထိန်းထားသည့် အနက်ရှိုင်းဆုံးအက်ကွဲကြောင်းများကို လုံးဝဖယ်ရှားလိုက်သောကြောင့်ဖြစ်သည်။ ထို့ကြောင့် မျက်နှာပြင်အပြီးသတ်ခြင်းကို အခြေခံသန့်စင်မှုသို့ မရောက်မီ စနစ်တစ်ခု မည်မျှကြာအောင် သန့်စင်ရမည်ကို ဆုံးဖြတ်ပေးသည့် အစိုဓာတ်၏ ပုန်းကွယ်နေသော ရေလှောင်ကန်တစ်ခုအဖြစ် မကြာခဏ ဖော်ပြလေ့ရှိသည်။

အစိုဓာတ်စုပ်ယူခြင်းနှင့် ဓာတ်ငွေ့ထုတ်လွှတ်ခြင်း

အစိုဓာတ်သည် သတ္တုမျက်နှာပြင်များနှင့် တည်ငြိမ်သော ချည်နှောင်မှုများကို ဖြစ်ပေါ်စေပြီး အထူးသဖြင့် သံမဏိပေါ်တွင် သဘာဝအတိုင်း ဖွံ့ဖြိုးလာသော အောက်ဆိုဒ်အလွှာများနှင့် ဖွဲ့စည်းသည်။ ကပ်ငြိနေသော၊ ခရိုမီယမ်ကြွယ်ဝသော မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် ရေမော်လီကျူးများသည် အောက်ဆိုဒ်နှင့် တိုက်ရိုက် ဓာတုဗေဒစုပ်ယူပြီးနောက် အဆက်မပြတ် ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာစုပ်ယူထားသော အလွှာများအဖြစ် စုပုံလာသည်။ နောက်ပိုင်းတွင် ပြွန်ကို လေဟာနယ် သို့မဟုတ် စီးဆင်းနေသော ဓာတ်ငွေ့နှင့် ထိတွေ့သောအခါ ဤအလွှာများသည် တဖြည်းဖြည်း ပြိုကွဲသွားသည်- လျော့ရဲစွာ ချည်နှောင်ထားသော အပြင်ဘက်အလွှာများသည် ဦးစွာ လွတ်မြောက်သွားသော်လည်း ဓာတုဗေဒစုပ်ယူထားသော ရေသည် ဆက်လက်တည်ရှိနေပြီး ထုတ်လွှတ်ရန် များသောအားဖြင့် အပူပုံစံဖြင့် စွမ်းအင် လိုအပ်ပါသည်။ လက်တွေ့အကျိုးဆက်မှာ အသစ်တပ်ဆင်ထားသော သို့မဟုတ် ညံ့ဖျင်းစွာ အပြီးသတ်ထားသော ပြွန်သည် အစိုဓာတ်ကို ဓာတ်ငွေ့စီးကြောင်းထဲသို့ နာရီပေါင်းများစွာ သို့မဟုတ် ရက်ပေါင်းများစွာ စိမ့်ဝင်စေပြီး သန့်စင်ချိန်ကို ကြာရှည်စေပြီး သန့်ရှင်းမှုကို သတ်မှတ်ချက်ထက် နိမ့်ကျစေသည်။

အမှုန်အမွှားများ ပိတ်မိခြင်း

ကြမ်းတမ်းသောမျက်နှာပြင်များပေါ်ရှိ အဏုကြည့်မှန်ပြောင်းဖြင့်သာမြင်နိုင်သော အက်ကွဲကြောင်းများ၊ အပေါက်များနှင့် အဝိုင်းများသည် အမှုန်များအတွက် ရေလှောင်ကန်များအဖြစ် လုပ်ဆောင်သည်။ ပုံမှန်လည်ပတ်နေစဉ်အတွင်း ဤအမှုန်များသည် ပိတ်မိနေနိုင်သော်လည်း အပူလည်ပတ်မှု၊ တုန်ခါမှု သို့မဟုတ် စီးဆင်းမှုဦးတည်ရာနှင့် အလျင် ရုတ်တရက်ပြောင်းလဲခြင်းများက ၎င်းတို့ကို လွင့်စင်စေပြီး ဓာတ်ငွေ့စီးကြောင်းထဲသို့ ညစ်ညမ်းမှုပေါက်ကွဲမှုများကို ပေးပို့နိုင်သည်။ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်ရာတွင် အမှုန်တစ်ခုတည်းသည် ဝေဖာပေါ်တွင် ကြီးမားသောချို့ယွင်းချက်ကို ဖန်တီးနိုင်ပြီး ခြေထောက်သေများ သို့မဟုတ် အဆို့ရှင်အခေါင်းပေါက်များတွင် အခြေချနေသော အမှုန်များသည် စနစ်ဝန်ဆောင်မှုပေးသည်နှင့် ဖယ်ရှားရန် အလွန်ခက်ခဲသည်။ ချောမွေ့ပြီး အက်ကွဲကြောင်းကင်းသော မျက်နှာပြင်များသည် ထွက်လာသော အမှုန်အရေအတွက်ကို လျှော့ချပေးရုံသာမက ကျန်ရှိနေသော မျက်နှာပြင်များကို သန့်ရှင်းရေးလုပ်ရန်နှင့် အတည်ပြုရန် ပိုမိုလွယ်ကူစေသည်။

ဓာတ်ငွေ့သန့်စင်မှုအပေါ် သက်ရောက်မှု

မျက်နှာပြင်အပြီးသတ်ရွေးချယ်မှုသည် ဓာတ်ငွေ့သန့်စင်မှု၊ သန့်စင်ချိန်နှင့် ရေရှည်တည်ငြိမ်မှုတို့အပေါ် တိုက်ရိုက်၊ တိုင်းတာနိုင်သော သက်ရောက်မှုရှိသည်။ Ra 0.5–0.8 µm အတိုင်းအတာရှိ ကြမ်းတမ်းသောမျက်နှာပြင်များ — သန့်စင်ခြင်းမပြုရသေးသော အအေးခံဆွဲပြွန်များ၏ ပုံမှန် — သည် အစိုဓာတ်နှင့် အမှုန်အမွှားများကို ပိုမိုထိန်းသိမ်းထားသည်။ ၎င်းတို့သည် ပိုမိုပြင်းထန်စွာ ဓာတ်ငွေ့ထွက်ရှိစေပြီး၊ သန့်စင်ချိန် ပိုကြာရန် လိုအပ်ပြီး ရံဖန်ရံခါ ညစ်ညမ်းမှုကို လက်ခံနိုင်သည့် ppm အဆင့်အသုံးချမှုများအတွက်သာ ယေဘုယျအားဖြင့် သင့်လျော်သည်။ Ra ≤ 0.25 µm အတိုင်းအတာရှိ ချောမွေ့သောမျက်နှာပြင်များသည် electropolishing (EP) ဖြင့် ထုတ်လုပ်လေ့ရှိပြီး အလွန်ကွဲပြားစွာ ပြုမူကြသည်- ၎င်းတို့သည် စုပ်ယူမှုနေရာနည်းပါးခြင်း၊ ဓာတ်ငွေ့ထွက်ရှိမှုနည်းပါးခြင်းနှင့် အမှုန်အမွှားထုတ်လုပ်မှု နည်းပါးခြင်းတို့ကို ပေးစွမ်းသည်။ ထုတ်ဝေထားသော လေ့လာမှုများတွင် ဤအကျိုးသက်ရောက်မှုကို တိုင်းတာထားသည်။ တိုက်တေနီယမ်အပေါ် စုံစမ်းစစ်ဆေးမှုတစ်ခုအရ မျက်နှာပြင်ကြမ်းတမ်းမှု ၃၅% လျော့ကျခြင်းသည် ဓာတ်ငွေ့ထွက်ရှိမှု ၃၀% လျော့ကျစေကြောင်း ပြသခဲ့ပြီး သံမဏိအတွက် နှိုင်းယှဉ်နိုင်သော ခေတ်ရေစီးကြောင်းများကို မှတ်တမ်းတင်ထားသည်။ ppb- နှင့် ppt-အဆင့် အလွန်မြင့်မားသော သန့်စင်မှုစနစ်များအတွက်၊ electropolished မျက်နှာပြင်များသည် ဇိမ်ခံပစ္စည်းမဟုတ်ပါ — ၎င်းတို့သည် လိုအပ်ချက်တစ်ခုဖြစ်သည်။

မျက်နှာပြင်အပြီးသတ်စနစ်စွမ်းဆောင်ရည်ကို မည်သို့အကျိုးသက်ရောက်စေသည်

မျက်နှာပြင်အပြီးသတ်ခြင်းသည် ဓာတ်ငွေ့များထွက်ခြင်းထက် များစွာပို၍ သက်ရောက်မှုရှိသည်။ ၎င်းသည် သန့်စင်ချိန် (ချောမွေ့သောမျက်နှာပြင်များသည် အခြေခံစိုထိုင်းဆသို့ ပိုမိုမြန်ဆန်စွာရောက်ရှိသည်)၊ စီးဆင်းမှုအောက်တွင် အမှုန်အမွှားများ ကွာကျခြင်း၊ ချေးခံနိုင်ရည်ရှိခြင်း (passivated၊ chromium-riched EP မျက်နှာပြင်များသည် ပြန်လည်ညစ်ညမ်းမှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိခြင်း) နှင့် သန့်ရှင်းနိုင်မှု (ချောမွေ့သောမျက်နှာပြင်များသည် သန့်ရှင်းရေးပစ္စည်းများကို ထုတ်လွှတ်ပြီး ရေကို လုံးဝဆေးကြောခြင်း) တို့ကို သက်ရောက်မှုရှိသည်။ ၎င်းသည် ဂဟေဆက်နိုင်မှုကိုလည်း သက်ရောက်မှုရှိသည်- သန့်ရှင်းပြီး ထိန်းချုပ်ထားသော မျက်နှာပြင်အပြီးသတ်ခြင်းသည် ပိုမိုတသမတ်တည်းရှိသော ဂဟေဆက်အရည်အသွေးကို ထုတ်လုပ်ပေးပြီး အနာဂတ်ညစ်ညမ်းမှုရင်းမြစ်များ ဖြစ်လာနိုင်သည့် ပါဝင်မှုများနှင့် အပူအရောင်ပြောင်းလဲခြင်းအန္တရာယ်ကို လျော့နည်းစေသည်။

လျော့ပါးသက်သာစေရေး မဟာဗျူဟာများ

ဓာတ်ငွေ့သန့်စင်မှု မြင့်မားစွာရရှိရန်နှင့် ထိန်းသိမ်းရန်အတွက် ချဉ်းကပ်မှုအမျိုးမျိုး ပေါင်းစပ်အသုံးပြုရန် လိုအပ်ပြီး တစ်ခုချင်းစီသည် မတူညီသော ညစ်ညမ်းမှုလမ်းကြောင်းကို ကိုင်တွယ်ဖြေရှင်းပါသည်။

မျက်နှာပြင်ပြုပြင်ခြင်း

Electropolishing (EP) သည် UHP စနစ်များအတွက် ရွှေစံနှုန်းဖြစ်သည်။ ဤလုပ်ငန်းစဉ်သည် မျက်နှာပြင်မှ ပါးလွှာပြီး ထိန်းချုပ်ထားသော သတ္တုအလွှာကို ဖယ်ရှားပေးပြီး၊ အဏုကြည့်မှန်ပြောင်းဖြင့် ချိန်ညှိပေးကာ၊ အက်ကွဲကြောင်းများကို ဖွင့်လှစ်ပေးခြင်းနှင့် ဖယ်ရှားပေးခြင်း၊ passive film ၏ ခရိုမီယမ်ပါဝင်မှုကို ကြွယ်ဝစေခြင်းဖြင့် မျက်နှာပြင်ကို ပိုမိုချေးခံနိုင်ရည်ရှိပြီး အစိုဓာတ်ကို လျော့နည်းစွာ ထိန်းထားနိုင်သည်။ UHP ဓာတ်ငွေ့ရထားကို သတ်မှတ်သည့်အခါ၊လျှပ်စစ်ဖြင့် ඔප දැමීထားသော ချောမွေ့သောပြွန်ရေစိုနေသော အစိတ်အပိုင်းများနှင့် ဆက်စပ်ပစ္စည်းများအတွက် တူညီသောအပြီးသတ်နှင့် တွဲဖက်အသုံးပြုသည်။ စနစ်တစ်ခုတည်းအတွင်း အပြီးသတ်များကို ရောနှောခြင်းသည် တပ်ဆင်မှုတစ်ခုလုံး၏ သန့်ရှင်းမှုကို ထိခိုက်စေပါသည်။ လိုအပ်ချက်နည်းသော အသုံးချမှုများအတွက်၊ acid pickling and passivation (AP) နှင့် bright annealing (BA) တို့သည် သန့်ရှင်းမှုနှင့် ကုန်ကျစရိတ်ကို ကောင်းမွန်သောဟန်ချက်ညီစေသည်။

သန့်ရှင်းရေးနှင့် ကိုင်တွယ်ခြင်း

မျက်နှာပြင်ပြီးစီးမှုတစ်ခုတည်းဖြင့် မလုံလောက်ပါ - တင်းကျပ်သော သန့်ရှင်းရေးသည် ထုတ်လုပ်မှုအကြွင်းအကျန်များ၊ အဆီများနှင့် အစောပိုင်း လုပ်ငန်းစဉ်များမှ ကျန်ရှိနေသော အစိုဓာတ်ကို ဖယ်ရှားပေးပါသည်။ ပုံမှန်လုပ်ထုံးလုပ်နည်းများတွင် အယ်ကာလိုင်း အဆီဖယ်ရှားခြင်း၊ အသံလှိုင်းဖြင့် သန့်ရှင်းရေးလုပ်ခြင်းနှင့် အိုင်းယွန်းကင်းစင်သောရေဖြင့် ဆေးကြောခြင်းတို့ကို ပေါင်းစပ်ထားပြီး သန့်ရှင်းသောပတ်ဝန်းကျင်တွင် အခြောက်ခံကာ တံဆိပ်ခတ်ထားသော နှစ်ထပ်အိတ်ဖြင့် ကာကွယ်မှုဖြင့် ထုပ်ပိုးခြင်းတို့ကို ပေါင်းစပ်ထားသည်။ ကိုင်တွယ်မှုစည်းကမ်းသည်လည်း အရေးကြီးပါသည်- လက်အိတ်များ၊ သန့်ရှင်းသောကိရိယာများနှင့် အဖုံးအုပ်ထားသော သိုလှောင်မှုသည် စက်ရုံနှင့် နောက်ဆုံးတပ်ဆင်မှုအကြား ပြန်လည်ညစ်ညမ်းမှုကို ကာကွယ်ပေးပါသည်။

ဖုတ်ပြီး

ဖုန်စုပ်စက် သို့မဟုတ် စီးဆင်းနေသော သန့်စင်ဓာတ်ငွေ့အောက်တွင် အပူပေးခြင်းဖြင့် ရေငွေ့များ စွန့်ထုတ်မှုကို အရှိန်မြှင့်ပေးပြီး လည်ပတ်နေစဉ်အတွင်း လုပ်ငန်းစဉ်စီးဆင်းမှုထဲသို့ ထွက်သွားမည့် အစိုဓာတ်ကို ဖယ်ရှားပေးပါသည်။ Bake-out သည် အဆို့ရှင်များ၊ ဆက်စပ်ပစ္စည်းများနှင့် ဂဟေဆက်အဆစ်များအတွက် အထူးသဖြင့် အရေးကြီးပါသည်၊ ထိုနေရာတွင် ဂျီသြမေတြီနှင့် အပူဒဏ်ခံရသောဇုန်များသည် ဖုံးကွယ်ထားသော အစိုဓာတ်သိုလှောင်ရုံများကို ဖန်တီးပေးပါသည်။ inert purge နှင့် ပေါင်းစပ်လိုက်သောအခါ bake-out သည် စနစ်အသစ်တစ်ခု၏ အခြေခံသန့်စင်မှုရရှိရန် လိုအပ်သောအချိန်ကို ရက်များမှ နာရီပိုင်းအထိ လျှော့ချပေးနိုင်ပါသည်။

သန့်စင်ခြင်း

ပုံမှန်အားဖြင့် နိုက်ထရိုဂျင် သို့မဟုတ် အာဂွန်ကဲ့သို့သော အစွမ်းမဲ့ဓာတ်ငွေ့ကို စနစ်မှတစ်ဆင့် စီးဆင်းစေခြင်းဖြင့် ထွက်လာသော ညစ်ညမ်းပစ္စည်းများကို သယ်ဆောင်သွားပြီး အစိုဓာတ်ကို ပြန်လည်စုပ်ယူခြင်းမှ ကာကွယ်ပေးသည်။ သန့်စင်ခြင်းသည် စတင်အသုံးပြုသည့်အဆင့်နှင့် ဆက်လက်လုပ်ဆောင်ရမည့် အလေ့အကျင့်တစ်ခုဖြစ်သည်- ကောင်းမွန်စွာ ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော စနစ်များသည် အသင့်အနေအထားတွင် စဉ်ဆက်မပြတ် နိမ့်သောစီးဆင်းမှုသန့်စင်မှုကို ထိန်းသိမ်းထားကာ သန့်စင်မှုသည် ညစ်ညမ်းမှုအရင်းအမြစ် မဖြစ်လာစေရန် မြင့်မားသောသန့်စင်မှုသန့်စင်ဓာတ်ငွေ့ကို အသုံးပြုသည်။

ပစ္စည်းရွေးချယ်မှု

ဓာတ်ငွေ့ထွက်နည်းသောပစ္စည်းများကိုအသုံးပြုခြင်းသည် အတွင်းပိုင်းညစ်ညမ်းမှုအရင်းအမြစ်များမတည်ရှိမီ အနည်းဆုံးဖြစ်စေသည်။ UHP ဝန်ဆောင်မှုအတွက်၊ VIM-VAR (vacuum induction melting followed by vacuum arc remelting) ဖြင့်ထုတ်လုပ်သော 316L stainless steel သည် စက်မှုလုပ်ငန်းစံနှုန်းဖြစ်သည်- double vacuum melting သည် non-metallic inclusions များကို လျှော့ချပေးပြီး သိပ်သည်းပြီး တစ်သားတည်းဖြစ်သော microstructure ကို ထုတ်လုပ်ပေးသောကြောင့် သန့်ရှင်းစွာပြီးမြောက်ရန် ပိုမိုလွယ်ကူပြီး ဓာတ်ငွေ့ထွက်နိုင်ခြေနည်းပါးသည်။ inclusions များပါရှိသော အရည်အသွေးနိမ့်ပစ္စည်းသည် အကောင်းဆုံးမျက်နှာပြင်အပြီးသတ်ကိုပင် အနိုင်ယူနိုင်သည်၊ အဘယ်ကြောင့်ဆိုသော် inclusions များသည် အပေါက်များနှင့် အမှုန်အမွှားများဖြစ်ပေါ်ရန် အစပျိုးနေရာများအဖြစ် လုပ်ဆောင်သောကြောင့်ဖြစ်သည်။

သင့်အပလီကေးရှင်းအတွက် မှန်ကန်သော မျက်နှာပြင် အပြီးသတ်ကို ရွေးချယ်ခြင်း

မတူညီသော စက်မှုလုပ်ငန်းများနှင့် လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် မတူညီသော သန့်ရှင်းမှုလိုအပ်ချက်များရှိပြီး၊ မှန်ကန်သော အပြီးသတ်မှုသည် သန့်ရှင်းမှုနှင့် ကုန်ကျစရိတ်နှင့် ရရှိနိုင်မှုကို ဟန်ချက်ညီစေသည်။ ppb အဆင့် သန့်ရှင်းမှု လုံလောက်သော အသုံးချမှုများအတွက် - ဥပမာအားဖြင့်၊ မြင့်မားသော သန့်ရှင်းမှု လုပ်ငန်းစဉ်လိုင်းများနှင့် ဆေးဝါးအသုံးအဆောင်များ - aတောက်ပသော အပူပေးထားသော (BA) ချောမွေ့သောပြွန်မျက်နှာပြင်အရည်အသွေး၊ အတိုင်းအတာထိန်းချုပ်မှုနှင့် ကုန်ကျစရိတ်တို့ကို အကောင်းဆုံးဟန်ချက်ညီအောင် ပေးစွမ်းပါသည်။ အခက်ခဲဆုံးဝန်ဆောင်မှုအတွက်၊ လျှပ်စစ်ဖြင့် ඔප දැමීමထားသော ပစ္စည်းကို လျှော့ပေါ့မှုမရှိဘဲ သတ်မှတ်ထားပါသည်။

• တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းနှင့် flat-panel ထုတ်လုပ်ခြင်း- EP အပြီးသတ်၊ Ra ≤ 0.25 µm၊ 316L VIM-VAR၊ နှစ်ထပ်အိတ်ဖြင့်ထုပ်ပိုးပြီး အသုတ်လိုက်အသိအမှတ်ပြုထားသည်။ ဓာတ်ငွေ့ထွက်ရှိမှုနှင့် အမှုန်အမွှားဘတ်ဂျက်များကို ppb–ppt ဖြင့် သတ်မှတ်ထားပြီး မျက်နှာပြင်နှင့် အမှုန်အရေအတွက် သတ်မှတ်ချက်များဖြင့် ပြဋ္ဌာန်းထားသည်။
• အထူးနှင့် အီလက်ထရွန်းနစ်ဓာတ်ငွေ့များ- ထိန်းချုပ်ထားသော အတွင်းပိုင်းအပြီးသတ်ပါရှိသော EP သို့မဟုတ် အဆင့်မြင့် BA ပြွန်၊ ဓာတ်ငွေ့ဗီဒိုများနှင့် ဖြန့်ဖြူးရေးပြားများသည် အစိတ်အပိုင်းတိုင်းမှ တသမတ်တည်းရှိသော အရည်အသွေးကို လိုအပ်သည်။
• ဆေးဝါးနှင့် ဇီဝနည်းပညာ- သန့်ရှင်းရေးလုပ်ရလွယ်ကူပြီး အတည်ပြုရလွယ်ကူသော EP သို့မဟုတ် BA မျက်နှာပြင်များ၊ ASME BPE မျက်နှာပြင်အပြီးသတ်လမ်းညွှန်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီပြီး CIP/SIP ዑပစဉ်များကို ပံ့ပိုးပေးသည်။
• ခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာရေးကိရိယာနှင့် ဓာတ်ငွေ့ခရိုမာတိုဂရပ်ဖီတူရိယာပြွန်ထိန်းချုပ်ထားသော အတွင်းပိုင်းအချင်းအပြီးသတ်နှင့် တိကျသော အတိုင်းအတာ သည်းခံနိုင်မှုများဖြင့်၊ အချက်ပြမှုတည်ငြိမ်မှုသည် ထပ်ခါတလဲလဲလုပ်ဆောင်နိုင်သော၊ ညစ်ညမ်းမှုကင်းစင်သော သယ်ဆောင်သူဓာတ်ငွေ့ပေါ်တွင် မူတည်သောကြောင့်။
• အထွေထွေလုပ်ငန်းစဉ်နှင့် စက်မှုလုပ်ငန်းသုံးပိုက်လိုင်းများ- AP သို့မဟုတ် BA အပြီးသတ်များသည် ppm အဆင့်ဝန်ဆောင်မှုအတွက် ကုန်ကျစရိတ်နည်းပါးစွာဖြင့် လုံလောက်သော သန့်ရှင်းမှုကို ပေးစွမ်းသည်။

စက်မှုလုပ်ငန်းစံနှုန်းများနှင့် သတ်မှတ်ချက်များ

မျက်နှာပြင်ပြီးစီးမှုကို တိကျစွာသတ်မှတ်ရန်အတွက် ဘုံဘာသာစကားတစ်ခု လိုအပ်ပါသည်။ Ra (ဂဏန်းသင်္ချာပျမ်းမျှကြမ်းတမ်းမှု) သည် အသုံးအများဆုံး parameter ဖြစ်သော်လည်း အရေးကြီးသောအသုံးချမှုများသည် SEMI F19 ကဲ့သို့သော မျက်နှာပြင်ကြမ်းတမ်းမှုတိုင်းတာမှုစံနှုန်းများနှင့်အတူ Rz၊ Rmax နှင့် peak count ကိုလည်း ရည်ညွှန်းပါသည်။ သံမဏိပိုက်များအတွက် ဘုံရည်ညွှန်းချက်များတွင် ချောမွေ့ပြီး သန့်ရှင်းသောပိုက်အတွက် ASTM A269 နှင့် A270၊ ဇီဝပြုပြင်သည့်ပစ္စည်းကိရိယာများအတွက် ASME BPE နှင့် semiconductor အသုံးချမှုများအတွက် SEMI စံနှုန်းများ ပါဝင်သည်။ သတ်မှတ်ချက်တစ်ခုသည် EP အရည်အသွေးကို တောင်းဆိုသည့်အခါ Ra တန်ဖိုး၊ တိုင်းတာမှုနည်းလမ်းနှင့် လက်ခံမှုစံနှုန်းများကို ဖော်ပြသင့်သည် - ဥပမာအားဖြင့် "Ra ≤ 0.25 µm၊ အတွင်းပိုင်းမျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် stylus profilometry ဖြင့်တိုင်းတာပြီး 100% စစ်ဆေးပြီး အသိအမှတ်ပြုလက်မှတ်ရ"။

မကြာခဏမေးလေ့ရှိသော မေးခွန်းများ

မေး- Ra တန်ဖိုး ဘယ်လောက်ကို UHP အဆင့်လို့ သတ်မှတ်လဲ။

A: အလွန်မြင့်မားသော သန့်စင်မှုစနစ်များသည် Ra ≤ 0.25 µm ကို သတ်မှတ်လေ့ရှိပြီး semiconductor fabs အများအပြားသည် electropolished မျက်နှာပြင်များတွင် Ra ≤ 0.13 µm လိုအပ်သည်။ တိကျသောလိုအပ်ချက်သည် လုပ်ငန်းစဉ်နှင့် ပေးပို့နေသော သန့်စင်မှုအတန်းအစားပေါ်တွင် မူတည်ပါသည်။

မေး- လျှပ်စစ်နဲ့ ပွတ်တိုက်ခြင်းက အမှုန်အမွှားတွေကို ဖယ်ရှားပေးပါသလား။

A: လျှပ်စစ်ဖြင့် ඔප දැමීමခြင်းသည် ထိန်းချုပ်ထားသော သတ္တုအလွှာကို ဖယ်ရှားပေးပြီး အမှုန်အမွှားများနှင့် အစိုဓာတ်များ ပုန်းအောင်းနေသည့် အဏုကြည့်မှန်ပြောင်းဖြင့် දැමීම၊ အပေါက်ငယ်များနှင့် အမှုန်အမွှားများကို ဖယ်ရှားပေးပါသည်။ ၎င်းသည် သန့်ရှင်းရေးကို အစားမထိုးပါ- ကောင်းမွန်စွာ လျှပ်စစ်ဖြင့် ඔප දැමීමပြုလုပ်ထားသော အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုကို သန့်ရှင်းသောအခန်းအခြေအနေများအောက်တွင် သန့်ရှင်းရေးလုပ်ခြင်း၊ ဆေးကြောခြင်းနှင့် ထုပ်ပိုးခြင်းတို့ကို ပြုလုပ်ရပါမည်။

မေး- မျက်နှာပြင်ပြီးစီးမှုက သန့်စင်ချိန်ကို ဘယ်လိုအကျိုးသက်ရောက်သလဲ။

A: ကြမ်းတမ်းသော မျက်နှာပြင်များသည် အစိုဓာတ်ကို ပိုမိုထိန်းထားပြီး ပိုမိုနှေးကွေးစွာ ထုတ်လွှတ်သောကြောင့် အခြေခံသန့်စင်မှုသို့ ရောက်ရှိရန် အချိန်ပိုကြာပါသည်။ ချောမွေ့သော လျှပ်စစ်ဖြင့် ඔප දැමීම မျက်နှာပြင်များသည် သန့်စင်ချိန်ကို နာရီပေါင်းများစွာ သို့မဟုတ် ရက်ပေါင်းများစွာ လျှော့ချပေးနိုင်ပြီး ၎င်းသည် တိုက်ရိုက်စတင်မှု ပိုမိုမြန်ဆန်စေပြီး ရပ်တန့်ချိန် နည်းပါးစေသည်။

မေး- ဓာတ်ငွေ့စနစ်များအတွက် တောက်ပသော အပူပေးထားသော (BA) ပြွန် လုံလောက်ပါသလား။

A: Ra 0.25–0.4 µm ဝန်းကျင်ရှိသော BA ပြွန်သည် မြင့်မားသောသန့်စင်မှုနှင့် ဆေးဝါးဆိုင်ရာအသုံးချမှုများစွာအတွက် သင့်လျော်ပါသည်။ ppb–ppt တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းနှင့် အထူးဓာတ်ငွေ့ဝန်ဆောင်မှုအတွက်၊ လျှပ်စစ်ဖြင့် ඔප දැමීම ပြုလုပ်ခြင်းသည် ယေဘုယျအားဖြင့် လိုအပ်ပါသည်။

မေး- အလွန်သန့်စင်သော ဓာတ်ငွေ့စနစ်များအတွက် မည်သည့်ပစ္စည်းသည် အကောင်းဆုံးဖြစ်သနည်း။

A: VIM-VAR အရည်ပျော်ခြင်းဖြင့် ထုတ်လုပ်သော 316L သံမဏိသည် ပါဝင်မှုနည်းပြီး တသမတ်တည်းရှိသော၊ သန့်ရှင်းသော အဏုကြည့်ဖွဲ့စည်းပုံကြောင့် UHP ဓာတ်ငွေ့စနစ်များအတွက် စံရွေးချယ်မှုဖြစ်သည်။

နိဂုံးချုပ်

မျက်နှာပြင်အပြီးသတ်ခြင်းသည် သံမဏိပိုက်လိုင်း၏ အလှကုန်ဂုဏ်သတ္တိမဟုတ်ပါ - ၎င်းသည် ဓာတ်ငွေ့စနစ်၏ သက်တမ်းတစ်လျှောက်လုံး အစိုဓာတ်စုပ်ယူမှု၊ အမှုန်အမွှားထိန်းသိမ်းမှုနှင့် ဓာတ်ငွေ့ထွက်ရှိမှုကို ထိန်းချုပ်သည့် လုပ်ဆောင်နိုင်သော သတ်မှတ်ချက်တစ်ခုဖြစ်သည်။ ချောမွေ့သော မျက်နှာပြင်အပြီးသတ်သည် ဓာတ်ငွေ့သန့်စင်မှု အမြင့်ဆုံးအဆင့်ကို ရရှိရန်နှင့် ထိန်းသိမ်းရန်အတွက် မရှိမဖြစ်လိုအပ်ချက်တစ်ခုဖြစ်သည်။ မှန်ကန်သော အပြီးသတ်ကို သတ်မှတ်ခြင်း - UHP ဝန်ဆောင်မှုအတွက် လျှပ်စစ်ဖြင့် ඔප දැමීම၊ တောက်ပသော အပူပေးထားသော သို့မဟုတ် အချဉ်ဖောက်ထားသော နှင့် လိုအပ်ချက်နည်းသော အသုံးချမှုများအတွက် passivated - 316L VIM-VAR သံမဏိကဲ့သို့သော ဓာတ်ငွေ့ထွက်ရှိမှုနည်းသော ပစ္စည်းနှင့် ပေါင်းစပ်ခြင်းနှင့် တင်းကျပ်သော သန့်ရှင်းရေး၊ ဖုတ်ထုတ်ခြင်းနှင့် သန့်စင်ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်များဖြင့် ပံ့ပိုးပေးခြင်းဖြင့် အင်ဂျင်နီယာများသည် အလိုအပ်ဆုံးသော သန့်ရှင်းမှုပစ်မှတ်များကို ယုံကြည်စိတ်ချစွာ ဖြည့်ဆည်းပေးသည့် ဓာတ်ငွေ့ပို့ဆောင်ရေးစနစ်များကို တည်ဆောက်နိုင်ပြီး စက်ရုံ၏ သက်တမ်းတစ်လျှောက်လုံး ထိုနေရာတွင် ထားရှိနိုင်သည်။